更新时间：2020-08-12
产品品牌：Semiconsoft
产品产地：德国
产品型号：MProbe系列
当一束光入射到薄膜表面时，薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉im电竞投注，干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关，反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度im电竞投注im电竞投注。
反射光谱干涉法是一种非接触式im电竞投注im电竞投注、无损的im电竞投注im电竞投注、快速的光学薄膜厚度测量技术im电竞投注im电竞投注。
测量范围: 1 nm - 1 mm
波长范围: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2mum -3 um
产品特点：
a. 高的测量精度：0.01nm或0.01%
b. 准确度：1nm或0.2%
c. 稳定性：0.02nm或0.02%
d. 强大的软件材料库，包含500多种材料的光学常数
e. 通过Modbus TCP或OPC协议im电竞投注，与其他设备联用
适用于实时在线测量，多层测量im电竞投注，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加im电竞投注im电竞投注，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量im电竞投注。比如：氧化物im电竞投注，氮化物im电竞投注im电竞投注，光刻胶，高分子聚合物im电竞投注，半导体(硅im电竞投注im电竞投注，单晶硅im电竞投注，多晶硅)im电竞投注，半导体化合物(AlGaAs, InGaAsim电竞投注，CdTe, CIGS)im电竞投注，硬涂层(碳化硅im电竞投注，类金刚石炭)im电竞投注，聚合物涂层(聚对二甲苯im电竞投注im电竞投注，聚甲基丙烯酸甲酯im电竞投注，聚酰胺)
标准配置中包含：
1. 主机(光谱仪，光源im电竞投注im电竞投注im电竞投注，电线)
2. 反射光纤
3. 样品台及光纤适配器
4. TFCompanion软件
5. 校准套装
6. 测试样品im电竞投注，200nm晶圆
多种型号可选，每个型号对应不同的测量范围：
测量n和k值，其厚度范围需在25纳米和5微米之间
广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：
半导体晶圆im电竞投注，薄膜太阳能电池im电竞投注，液晶平板im电竞投注im电竞投注，触摸屛im电竞投注，光学镀膜im电竞投注，聚合物薄膜等
半导体制造：· 光刻胶 · 氧化物 · 氮化物
光学镀膜：· 硬涂层 · 抗反射涂层 · 滤波片
生物医学：· 聚对二甲苯 · 生物膜厚度 · 硝化纤维
电话：86-021-37018108
传真：86-021-57656381
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